莱宝干式螺杆真空泵吹扫气维修
发布时间:2021-07-18 14:51:13 来源: 优尼捷 点击量: 1396
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莱宝干式螺杆泵吹扫气体要求以及停机前后维护。
- SV40：排气侧密封吹扫阀
- 常开，不会影响极限真空与抽速，
- 要求：停泵15-30分钟后再关闭SV40；
- SV41：汽镇吹扫阀（转子吹扫）
- 用来稀释气体，以防止凝结、干燥泵体、降低化学反应、稀释气体到燃点以下。
- 要求：对于有可凝性气体(如水蒸汽)的应用，需开启SV41，防止气体泵内凝结；
- SV42：进气侧密封吹扫阀
- 要求：在制程气体或固体有可能进入齿轮箱的情况下，必需开启SV42，以保护泵。
- 氮气吹扫压力：
- 气源：4-8 bar
- 减压后：3.0 bar
- 低压报警：< 2.4 bar
- 1）工作状态，当极限真空满足工艺要求的前提下，对泵最好的保护方式：保持SV40，SV41，SV42常开；若极限真空无法满足需求，可在抽气阀打开30秒后将SV42关闭，SV41/SV40保持打开；
- 2）泵在待机状态下，保持SV40，SV41，SV42常开，清除泵内工艺物质和水汽；
- 3）制程结束停泵前，关闭抽气阀，保持SV40、SV41与SV42打开下泵运行30分钟再停泵，以清除泵内残留的制程物质和水汽，以防止泵因为转子生锈和卡死。
- 4）停泵后，向泵腔内充注氮气封存。
- 1850年，LEYBOLD莱宝真空公司在德国科隆成立。自公司成立以来，莱宝一直走在世界真空技术发展的前端。目前，莱宝公司是世界上著名的真空设备供应商之一。LEYBOLD在世界上四个国家设有工厂，每家工厂各自生产不同系列的真空元部件。其中有位于：德国的科隆，公司总部所在地。几乎生产所有系列的产品；美国的宾西法尼亚州，专门生产应用于半导体行业的干泵、低温泵等；法国的瓦郎斯，专门生产SOGEVAC系列单级旋片泵；河南洛阳，江苏，山东济南等地具有压缩机和干式螺杆真空泵维修车间,共有三个备品备件仓库。Leybold莱宝为客户供应干式真空泵,氮气压缩机,六氟化硫(sf6)压缩机,氦气压缩机,高压机,莱宝真空泵,莱宝检漏仪,莱宝真空泵油等工业设备，同时提供莱宝真空泵维修、配件等业务。
