真空系统的应用

发布时间:2023-06-28 13:56:55 来源: 优尼捷点击量: 500

一、新材料开发离不开真空
以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段，薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华，在超高真空环境中，薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行，到达衬底成膜;而且由于残留气体少，衬底表面形成的薄膜纯度高。
二、生产半导体元件半导体产业离不开真空技术
(1)要在硅片上掺入相应的其他元素;
(2)在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜;
(3)要进行表面的刻蚀处理等复杂的工序。
如果生产过程中的真空度不够，表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3，是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言，哪怕落有一颗烟雾的颗粒，就好像大路上停了一架大型飞机一样，使电子无法通过或造成短路。
三、军工、宇宙开发方面也离不开真空。
隐形飞机或潜艇，要最大限度地吸收雷达波，以达到不被发现的目的。涂在飞机或潜艇上的吸收雷达波材料，就是活用真空技术而获得的纳米颗粒。宇宙开发更离不开真空，因为宇宙本身就处于超高真空状态。宇宙飞船使用的材料、对接技术，以及宇航员的太空服，处处都是真空技术的结晶。
四、表面科学领域对真空度的要求极高
在极高真空的环境下，通过高温退火或结合离子溅射而获得物质的清洁表面，这时的表面没有吸附任何其他的分子或原子。利用扫描隧道电子显微镜等尖端的表面分析实验手段，可以看到物质表面的原子排列和电子状态。
五、物理学中最尖端的粒子加速器，是大规模真空技术的组合
电子(或其他带电粒子)要被加速到接近光速，如果电子储存环中不是超高真空状态，则电子会和其中的分子或原子碰撞，从而迅速衰减。另外，核聚变反应要达到上亿度的高温，极高真空环境是系统工作的基本前提
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