扩散泵的工作原理及分类
发布时间:2023-05-16 11:52:55 来源: 优尼捷 点击量: 635
- 扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵使用高速的蒸汽直接喷射泵在喉咙气体分子分解成的泵出排气底部。
- 扩散泵的工作原理
- 由电加热器（电炉）将装在泵腔（油锅）内的液态工作介质加热，使其变成蒸汽；蒸汽通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速度的蒸汽射流；被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中，被下一级蒸汽射流带走，最后由前级泵排出，而工作蒸汽到达水冷的泵壁，冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅。在油锅里重新被加热变成油蒸汽。这样周而复始的工作，形成了扩散泵的正常抽气过程。扩散泵的优缺点在真空泵的大家族中，扩散泵属于高真空获得设备。
- 扩散泵的优缺点
- 优点:结构简单、无运动件、噪音很小、使用方便、维护容易、在高真空段有较大抽速，单位抽速所需制造成本较低等，因此，其应用面很广。
- 缺点：返油、能耗高、热效率低。提高加热效率、降低能耗、降低返油率是多少年来扩散泵需要解决而至今尚未完全解决的主要问题。
- 油扩散泵
- 油扩散泵的运作是一个低蒸气压油。其目的是实现更高的真空（低压）由正排量泵仅比使用是可能的。虽然它的使用主要是有关在高真空范围（下降到10-9毫巴），今天的扩散泵产生的压力接近10 -10毫巴适当的时候与现代流体及配件使用。使扩散泵高，超高真空有吸引力的是它的高抽所有气体和抽速每单位成本低，速度比其他类型的泵在同一真空范围内使用。扩散泵不能直接排放到大气中，所以前级机械泵通常用于维持约0.1毫巴出口压力。
- 蒸汽喷射泵
- 蒸汽喷射器是一种扩散真空蒸馏及冷冻泵流行的一种干燥。一个蒸汽喷射泵认为，必须从蒸汽真空室中删除。蒸汽喷射器可以有一个或多个阶段，并没有各阶段之间的冷凝器英寸。
- 压缩空气喷射泵
- 其中扩散真空泵类是多级压缩驱动喷射空气。这是非常流行的应用中使用的对象是各地和真空吸盘线迁出。
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